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真空泵
本系列真空泵適用于≤15L/S小抽速工況,極限真空為5Pa的真空獲得環(huán)境,它廣泛應(yīng)用于醫(yī)療儀器、電子、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、真空包裝、太陽能、真空干燥過濾、科研、分析儀表、氣體脫氣、泄漏檢測、濺射裝置、回收裝置等。
爪型干式真空泵因轉(zhuǎn)子形狀為爪型而稱,爪型干式真空泵有多級泵腔,每一級泵腔內(nèi)有一對相互嚙合的爪型轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子和泵腔之間留有微小空隙,沒有接觸和摩擦,結(jié)構(gòu)上采用多級轉(zhuǎn)子串聯(lián)的結(jié)構(gòu)形式。爪形干式真空泵又分為臥式爪泵和立式爪泵兩種形式,臥式爪泵為直連結(jié)構(gòu)稱為臥式直連爪形真空泵,立式爪形真空泵分為立式直連系列和立式聯(lián)排。
螺桿干式真空泵由三大部分組成:驅(qū)動部分、傳動部分、工作部分。螺桿式真空泵廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、食品、醫(yī)藥中間體、精細(xì)化工、農(nóng)藥、光伏電子、環(huán)境保護(hù)等行業(yè)的各種工藝。能抽出空氣、二氯甲烷、正己烷、環(huán)己烷、丙酮、四氫呋喃、苯、甲苯、汽油、氫氣、硅烷、氯化氫、氨氣等氣體介質(zhì)。